国产光刻机的现状究竟如何?
随着信息社会的迅速发展,手机、电脑、电视等各种电子设备越来越“迷你”,从之前的“大哥大”到现在仅仅几个硬币厚的时尚手机,从老式的矮胖电视到如今轻薄的液晶电视,都不离开集成电路的发展,也就是我们平时所说的“芯片”。自从1958年世界上第一块集成电路问世以来,它的体积越来越小,性能却越来越强大。
而光刻机是半导体芯片制造业中的最核心设备。以光刻机为代表的高端半导体装备支撑着集成电路产业发展,芯片越做越小,集成的电路越来越多,能使终端变得小巧玲珑。
上海微电子公司外景 SMEE供图
2002年,光刻机被列入国家863重大科技攻关计划,由科技部和上海市共同推动成立上海微电子装备有限公司(下简称“SMEE”)来承担,2008年国家又启动了“02”科技重大专项予以衔接持续攻关。经过十几年潜心研发,我国已基本掌握了高端光刻机的集成技术,并部分掌握了核心部件的制造技术,成为集光机电等多学科尖端技术于一体的“智能制造业中的珠穆朗玛峰”。
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